Подъем экономики России, и  её движение по инновационным рельсам требует  развития отечественного машиностроения,  которое будет обеспечивать все отрасли  промышленности современными, высокотехнологичными станками и  оборудованием. Значение этой задачи ещё более увеличилось в  связи с  западными санкциями  и  объявленной политикой импортозамещения. Ограничения по  поставкам оборудования коснулись, прежде всего, высокотехнологичных отраслей промышленности.

В сферу действия санкций попали  и  вакуумные технологические установки,  где одними из  лидеров создания оборудования являются ряд американских  и европейских фирм. Однако, нужно признать, что и ранее это оборудование было  крайне дорогим, а  многое технологические элементы и  решения не всегда были  доступны для отечественной промышленности. А  значение вакуумной техники  трудно переоценить. От  сверхчистых  металлов и космических аппаратов до солнечных батарей и  оптики, от  микроэлектроники и жидкокристаллических панелей  до  упрочнения инструментов и  биологических препаратов и  продуктов питания,  и это далеко неполны перечень технологий  использующих вакуумные установки при  производстве. Сегодня трудно назвать  области науки и  промышленности, где  можно было  бы обойтись без вакуумной  техники.

В связи с  этим разработка и  создание  отечественными производителями вакуумных технологических установок и  комплексов было актуально и  ранее, а  сейчас  стало абсолютно необходимым.

Несмотря на все существующие сложности в  России продолжают работать  предприятия занимающиеся разработкой  и созданием уникального вакуумного технологического оборудования. Так нашим  предприятием за  25  лет существования  создано более 120 вакуумных технологических установок.

За последние годы создано ряд вакуумных технологических установок, не имеющих аналогов в  мире, некоторые из  них  представлены ниже.

Установка предназначена для нанесения термозащитного износостойкого  покрытия на  лопатки турбин для авиационных двигателей 5го поколения.  Шлюзовая установка проходного типа  с системой откачки на основе турбомолекулярных насосов оснащена уникальной  системой нанесения покрытия на основе  дуальной системы магнетронного распыления. Для питания системы распыления используются отечественные  блоки питания инверторного типа.  Для подготовки поверхности изделий  используются ионные источники, также  отечественной разработки. Покрытие  обеспечит длительную работу лопаток  двигателя при температурах рабочего  газа 1500-1700 С.

Установки с  такими возможностями нет нигде в мире.

Установка позволяет выращивать  кристаллы из  металлов типа молибдена  или вольфрама длиной до  800  мм и  диаметром 40  мм, методом безтигельной  зонной плавки. Полученные кристаллы  затем обрабатываются и устанавливаются  в  ядерных энергетических установках  мега-ваттного класса. Такие энергетические установки планируется использовать  при космических полетах на  Луну или  Марс. Установка оснащена системой  видеоконтроля за  процессом переплава,  автоматическим управлением системой  питания плавления и  штоками перемещения поликристаллического стержня  и  растущего кристалла. Автоматизация  процесса существенно упрощает работу  оператора и снижает вероятность возникновения брака.

Уникальная установка полностью  отечественной разработки в относительно  не дорогом исполнении.

Установка предназначена для модификации поверхности рулонных материалов в  плазме высокочастотного разряда. При обработке в  плазме поверхности  ткани из сверх-высокомолекулярного высокопрочного полиэтилена существенно возрастают её адгезионные свойства, что позволяет  использовать его в  конструкционных целях,  например, делать многослойную легкую броню. Модификация ткани, из которой шьют  хирургические халаты, делает ее поверхность  гидрофобной — кровь, попавшая на  халат,  не впитывается, а  скатывается. Покрытия  на тканях и пленках, после обработки, могут  обладать бактерицидными, теплоотражающими, экранирующими и  многими другими  специальными свойствами.

Уникальная установка, предназначенная для нанесения специального  текстурированного покрытия на  ленту  шириной в несколько мм и длиной до 1 км,  которая служит основой для получения  сверхпроводников второго поколения.  Далее на эту ленту наносится сверхпроводящая керамика. В установке применяются  специальные ионные источники, обеспечивающие получение покрытие со  специально ориентированной кристаллической  структурой. Технология получения такой  структуры это передовая разработка отечественных ученых и  инженеров. Использование длинномерных сверхпроводников  позволит существенно повысить в будущем  эффективность генерирующих машин.

Данная установка это новое слово  в  оптической промышленности. Для нанесения оптических покрытий используются  методы ионного и  магнетронного распыления. Высокая плотность покрытия, недостижимую при традиционных методах,  очень высокая равномерность покрытия,  обеспечиваемая специально разработанной  конструкцией распылительных устройств,  пространственное перемещение, как  устройства распыления, так и  держателя  подложки по  заданной программе делают  установку уникальной по своим возможностям и свойствам покрытия.

Установка имеет систему спектрального контроля с  возможностью сканирования спектра в  диапазоне 380-2700  нм  по пропусканию или отражению с выводом  получаемого спектра на экран компьютера.

Здесь представлена только небольшая  часть разработанных нами установок.

Существует интерес к  нашей продукции и за рубежом, так наши установки  были поставлены в  Испанию — установка для нанесения комбинированного  покрытия на  солнечные панели нагрева  воды и  установка для нанесения декоративного покрытия на  керамическую  плитку. Одна установка для нанесения  покрытия на  листовое стекло была  поставлена в  Кувейт. Однако, для существенного расширения такого сотрудничества необходимо открывать представительство в  Европе, где можно было  бы  демонстрировать свою продукцию. Но это  требует существенных инвестиций, что  пока недоступно.

Хотелось  бы также отметить, что для  решения всего разнообразия задач, с которыми приходится сталкиваться сегодня,  предприятие активно привлекает к  проектированию и  созданию оборудования  ведущих отечественных и зарубежных специалистов, практиков и ученых, в области  вакуумной техники и технологии. Вакуумные установки это сложное,  уникальное оборудование и  создание  отечественных образцов такой техники  является необходимым условием технологического развития отечественной  промышленности, создания условий для  снижения зависимости от западных фирм  и диверсификации экономики.

А. А. Бикташев,

В. А. Глинкин,

И. А. Сунгатуллин

ЗАО «Ферри Ватт», Казань